基于Zernike多项式拟合三平面互检的误差分析 | 光子学报 -- 中国光学期刊网

光子学报, 2017, 46 (9): 0912008, 网络出版: 2017-10-16

基于Zernike多项式拟合三平面互检的误差分析

Error Margin Analysis of Three-flat Test Based on Zernike Polynomials Fitting

高飞 ^1,*李晋惠 ^1,2田爱玲 ³刘丙才 ³李世杰 ³岳鑫 ³

作者单位

¹ 西安工业大学 a理学院

² b计算机科学与工程学院

³ 西安工业大学 c光电工程学院，西安 710021

光学检测绝对检测干涉法 Zernike多项式测量误差计算仿真 Optical testing Absolute test Interferotry Zernike polynomials Measurement error Computer simulation

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