基于热平衡机理的质子交换炉温控系统数学模型

伏娜; 张晞

doi:doi:10.16818/j.issn1001-5868.2018.05.008

半导体光电, 2018, 39 (5): 643, 网络出版: 2019-01-10

基于热平衡机理的质子交换炉温控系统数学模型

Research on Mathematical Model of Temperature Control System in Proton Exchange Furnace Based on Heat Balance Mechanism

伏娜张晞

作者单位

北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院, 北京 100191

图 & 表

伏娜, 张晞. 基于热平衡机理的质子交换炉温控系统数学模型[J]. 半导体光电, 2018, 39(5): 643. FU Na, ZHANG Xi. Research on Mathematical Model of Temperature Control System in Proton Exchange Furnace Based on Heat Balance Mechanism[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2018, 39(5): 643.