应用光学, 2014, 35 (1): 150, 网络出版: 2014-01-17
飞秒激光湿法刻蚀微纳制造
Micro-nano fabrication of femtosecond laser wet etch
飞秒激光 微纳制造 湿法刻蚀 微透镜 微通道 femtosecond laser micro- and nano- fabrication wet etch microlens microchannel
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