定量单轴压力下单晶硅片原位拉曼谱峰测试

谢超; 杜建国; 刘雷; 易丽; 刘红; 陈志; 李静

doi:doi:10.3964/j.issn.1000-0593(2016)04-1261-05

光谱学与光谱分析, 2016, 36 (4): 1261, 网络出版: 2016-12-20

定量单轴压力下单晶硅片原位拉曼谱峰测试

In Situ Raman Spectrum Peak Test of Monocrystalline Silicon Wafer under Quantitative Uniaxial Pressure

谢超 ¹杜建国 ¹刘雷 ¹易丽 ¹刘红 ¹陈志 ¹李静 ²

作者单位

¹ 中国地震局地震预测重点实验室(中国地震局地震预测研究所), 北京 100036

² 防灾科技学院, 河北燕郊 065201

图 & 表

谢超, 杜建国, 刘雷, 易丽, 刘红, 陈志, 李静. 定量单轴压力下单晶硅片原位拉曼谱峰测试[J]. 光谱学与光谱分析, 2016, 36(4): 1261. XIE Chao, DU Jian-guo, LIU Lei, YI Li, LIU Hong, CHEN Zhi, LI Jing. In Situ Raman Spectrum Peak Test of Monocrystalline Silicon Wafer under Quantitative Uniaxial Pressure[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2016, 36(4): 1261.