光谱学与光谱分析, 2016, 36 (4): 1261, 网络出版: 2016-12-20
定量单轴压力下单晶硅片原位拉曼谱峰测试
In Situ Raman Spectrum Peak Test of Monocrystalline Silicon Wafer under Quantitative Uniaxial Pressure
单轴压力 单晶硅片 拉曼谱峰 残余应力 Uniaxial pressure Monocrystalline silicon wafer Raman spectrum peak Residual stress
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