激光与光电子学进展, 2020, 57 (19): 190001, 网络出版: 2020-10-10   

脉冲激光沉积制备一维有序氧化物纳米结构的研究进展 下载: 1413次封面文章特邀综述

Research Progress on Fabrication of One-Dimensional Well-Ordered Oxide Nanostructures by Pulsed Laser Deposition
范丽莎 1,2,3,4张硕文 1,2,3,4张群莉 1,2,3,4姚建华 1,2,3,4,*
作者单位
1 浙江工业大学机械工程学院, 浙江 杭州 310023
2 浙江工业大学激光先进制造研究院, 浙江 杭州 310023
3 高端激光制造装备省部共建协同创新中心, 浙江 杭州 310023
4 高端装备激光再制造浙江省工程研究中心, 浙江 杭州 310023
图 & 表

图 1. PLD系统示意图[59]

Fig. 1. Schematic of PLD system[59]

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图 2. AAO模板辅助PLD法制备纳米环阵列示意图[84]

Fig. 2. Schematic of the template-assisted PLD for growing nano-ring arrays[84]

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图 3. 催化剂辅助PLD法制备纳米线示意图[85]

Fig. 3. Schematic of catalytic-assisted PLD synthesis of nanowires[85]

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图 4. NAPLD法制备垂直排列的ZnO纳米柱示意图[111]

Fig. 4. Schematic of the growth of vertically aligned ZnO nanorods using NAPLD process[111]

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图 5. 表面扩散限制法制备一维垂直有序纳米结构的生长机理示意图[117]

Fig. 5. Schematics of the growth mechanism of one-dimensional well-ordered nanostructures by limiting surface diffusion[117]

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图 6. 在{001}和{111}表面晶化自主分离得到钙钛矿-尖晶石复合纳米结构薄膜示意图[126]

Fig. 6. Schematics of the perovskite-spinel composite nanostructured film by crystallization autonomous separation on {001} and {111} surfaces[126]

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图 7. 三种不同激光能量密度下生长的ZnO纳米柱的俯视图和横截面SEM图像[147]。(a~b) 4.0 J/cm2;(c~d) 1.8 J/cm2;(e~f) 1.2 J/cm2

Fig. 7. Top view and cross-sectional view SEM images of ZnO nanorods grown under three different laser influences[147]. (a-b) 4.0 J/cm2; (c-d) 1.8 J/cm2; (e-f) 1.2 J/cm2

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图 8. 具有{001}高活性表面刻面的单晶TiO2纳米刷[119]。(a) TEM截面微观形貌图;(b) TiO2纳米刷、纳米颗粒和纳米薄膜的光电转化I/V曲线

Fig. 8. Single-crystallineTiO2 nanobrushes with high energy {001} facets [119]. (a) Cross-sectional SEM images showing the nanobrush microstructure; (b) photovoltaic I/V curves of TiO2 nanobrushes, nanoparticles, and thin film

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图 9. 六角形TiO2纳米柱阵列[157]。(a) SEM表面形貌图; (b) SEM截面形貌图;(c)场发射I-V曲线;(d)场发射增强因子与阵列周期的关系

Fig. 9. Hexagonal nonclose-packed TiO2 nanorod arrays[157]. (a) SEM image of the surface morphology; (b) SEM image of the cross-sectional morphology; (c) field emission I-V curve; (d) the relationship between field-enhancement factor and array period

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图 10. 采用PLD技术在不同的W基体温度下制备的WO3纳米柱[168]

Fig. 10. WO3 nanorods prepared by PLD with varied W substrate temperature[168]

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图 11. 表面扩散法制备的CoFe2O4纳米刷的结构表征[120]。(a) 纳米刷的STEM截面形貌图;(b)纳米刷侧壁的原子尺度高分辨率STEM图;(c)纳米刷衬底过渡区域STEM截面形貌图;(d)纳米刷衬底界面的原子尺度高分辨率STEM图;(e)纳米刷衬底界面的傅里叶转换图

Fig. 11. Microstructures of CoFe2O4 fabricated by surface diffusion method[120]. (a) STEM image showing the cross-sectional structure of nanobrushes; (b) atomic-resolution STEM image of the sidewall of a nanobrush; (c) STEM cross-section image showing the nanobrush/substrate interface; (d) atomic-resolution STEM image showing the nanobrush/substrate interface; (e) Fourier transform of nanobrush/substrate interface

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图 12. PZT纳米线阵列[179]。(a)~(g)不同生长温度下制备的PZT纳米线的SEM界面形貌图;(h) PZT纳米线长度和过渡区PZT薄膜区厚度随生长温度的变化曲线;(i) PZT纳米线在不同温度和压力下的生长窗口

Fig. 12. SEM images of vertically aligned taper PZT nanowires arrays[179]. (a)--(g) SEM interface images of PZT nanowires prepared at varied growth temperatures; (h) the lengths of PZT nanowires and the thicknesses of PZT film in transition region as the function of growth temperature; (i) growth window of the PZT nanowires at different temperatures and pressures

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图 13. 不同温度下采用PLD法生长的YBCO纳米柱[187]。(a) 630 ℃;(b) 680 ℃

Fig. 13. YBCO nanorods grown by PLD at different temperatures[187]. (a) 630 ℃; (b) 680 ℃

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图 14. 一维CeO2/Y2O3纳米超晶格结构[121]。(a) STEM截面形貌图;(b)原子探针断层扫描重建一维CeO2/Y2O3纳米超晶格的三维结构

Fig. 14. One-dimensional CeO2/Y2O3 nanobrush superlattice[121]. (a) A STEM image showing its cross-sectional structure; (b) three-dimensional structure of one-dimensional CeO2/Y2O3 nano-superlattice reconstructed by atom probe tomography

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范丽莎, 张硕文, 张群莉, 姚建华. 脉冲激光沉积制备一维有序氧化物纳米结构的研究进展[J]. 激光与光电子学进展, 2020, 57(19): 190001. Lisha Fan, Shuowen Zhang, Qunli Zhang, Jianhua Yao. Research Progress on Fabrication of One-Dimensional Well-Ordered Oxide Nanostructures by Pulsed Laser Deposition[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(19): 190001.

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