光学仪器, 2013, 35 (6): 74, 网络出版: 2014-01-08
透明台阶的白光干涉测量方法研究
Study on the measurement of transparent step by white-light interferometer
基本信息
DOI: | 10.3969/j.issn.1005-5630.2013.06.015 |
中图分类号: | O 439 |
栏目: | 仪器及装置 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2013-05-13 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2014-01-08 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
耿东锋, 何英杰, 苏宏毅. 透明台阶的白光干涉测量方法研究[J]. 光学仪器, 2013, 35(6): 74. GENG Dongfeng, HE Yingjie, SU Hongyi. Study on the measurement of transparent step by white-light interferometer[J]. Optical Instruments, 2013, 35(6): 74.