透明台阶的白光干涉测量方法研究

耿东锋; 何英杰; 苏宏毅

doi:doi:10.3969/j.issn.1005-5630.2013.06.015

光学仪器, 2013, 35 (6): 74, 网络出版: 2014-01-08

透明台阶的白光干涉测量方法研究

Study on the measurement of transparent step by white-light interferometer

耿东锋 ^1,2何英杰 ¹苏宏毅 ^1,2

作者单位

¹ 中国空空导弹研究院,河南洛阳471009

² 红外探测器技术航空科技重点实验室,河南洛阳471009

图 & 表

耿东锋, 何英杰, 苏宏毅. 透明台阶的白光干涉测量方法研究[J]. 光学仪器, 2013, 35(6): 74. GENG Dongfeng, HE Yingjie, SU Hongyi. Study on the measurement of transparent step by white-light interferometer[J]. Optical Instruments, 2013, 35(6): 74.