光学仪器, 2013, 35 (6): 74, 网络出版: 2014-01-08
透明台阶的白光干涉测量方法研究
Study on the measurement of transparent step by white-light interferometer
引用该论文
耿东锋, 何英杰, 苏宏毅. 透明台阶的白光干涉测量方法研究[J]. 光学仪器, 2013, 35(6): 74.
GENG Dongfeng, HE Yingjie, SU Hongyi. Study on the measurement of transparent step by white-light interferometer[J]. Optical Instruments, 2013, 35(6): 74.
参考文献
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[2] 徐德衍,林尊琪.光学表面粗糙度研究的进展与方向［J］.光学仪器,1996,18(1):32-37
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耿东锋, 何英杰, 苏宏毅. 透明台阶的白光干涉测量方法研究[J]. 光学仪器, 2013, 35(6): 74. GENG Dongfeng, HE Yingjie, SU Hongyi. Study on the measurement of transparent step by white-light interferometer[J]. Optical Instruments, 2013, 35(6): 74.
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