1 中国空空导弹研究院,河南 洛阳471009
2 红外探测器技术航空科技重点实验室,河南 洛阳471009
Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量。在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求。
垂直扫描干涉 零光程差 透明台阶 vertical scanning interferometer zero optical path difference transparent step
InSb焦平面器件经过减薄后，表面有细微的划痕，且存在一定厚度的损伤层，影响芯片性能。通过对InSb焦平面器件表面末处理工艺方法的探索，确定了器件抛光后，去除表面损伤层和表面溅射ZnS抗反射膜的工艺实施方案，有效地改善了器件的表面质量，提高了焦平面器件的性能。
焦平面器件 腐蚀 抗反射膜 focal plane device corrosion antireflection layer
