1 中国空空导弹研究院,河南 洛阳471009
2 红外探测器技术航空科技重点实验室,河南 洛阳471009
Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量。在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求。
垂直扫描干涉 零光程差 透明台阶 vertical scanning interferometer zero optical path difference transparent step