1 西南科技大学材料科学与工程学院, 四川 绵阳 621010
2 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
为了精密检测靶丸壳层折射率参数, 基于白光垂直扫描干涉和白光反射光谱的基本原理, 建立了二者联用的靶丸壳层折射率测量方法。数据处理利用曲线拟合测定极值点波长、并由干涉级次连续性判定干涉级次, 解决了白光反射光谱波峰位置难以精确确定和单极值点判读可能存在干涉级次误差等难题。对玻璃靶丸折射率进行了测量、实验验证和不确定度分析, 研究结果表明, 白光干涉技术能够实现靶丸壳层折射率的精确测量, 其测量不确定度约为 0.86%。
薄膜光学 折射率 白光垂直扫描干涉 白光反射光谱 靶丸 thin film optics refractive index white light vertical scanning interference white light reflectance spectra capsule
1 中国空空导弹研究院,河南 洛阳471009
2 红外探测器技术航空科技重点实验室,河南 洛阳471009
Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量。在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求。
垂直扫描干涉 零光程差 透明台阶 vertical scanning interferometer zero optical path difference transparent step
1 华中科技大学 数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉 430074
2 武汉光电国家实验室 光电材料与微纳制造研究部,武汉 430074
3 中北大学 电子测试技术国家重点实验室,太原 030051
根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。
相移干涉法 垂直扫描干涉法 林尼克干涉结构 五步相移算法 SEST算法 Phase Shift Interferometry Vertical Scanning Interferometry Linnik interferometer five-step phase-shift algorithm Squared-Envelope function estimation by Sampling T
