强激光与粒子束, 2013, 25 (12): 3307, 网络出版: 2013-12-16
环形抛光中频误差的计算模拟
Calculation and simulation on mid-spatial frequency error in continuous polishing
基本信息
DOI: | 10.3788/hplpb20132512.3307 |
中图分类号: | TG701 |
栏目: | 光学元件 |
项目基金: | 国家高技术发展计划项目 |
收稿日期: | 2013-07-22 |
修改稿日期: | 2013-08-25 |
网络出版日期: | 2013-12-16 |
通讯作者: | 谢磊 (humanx30@163.com) |
备注: | -- |
谢磊, 张云帆, 游云峰, 马平, 刘义彬, 鄢定尧. 环形抛光中频误差的计算模拟[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25(12): 3307. Xie Lei, Zhang Yunfan, You Yunfeng, Ma Ping, Liu Yibin, Yan Dingyao. Calculation and simulation on mid-spatial frequency error in continuous polishing[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25(12): 3307.