环形抛光中频误差的计算模拟

谢磊; 张云帆; 游云峰; 马平; 刘义彬; 鄢定尧

doi:doi:10.3788/hplpb20132512.3307

强激光与粒子束, 2013, 25 (12): 3307, 网络出版: 2013-12-16

环形抛光中频误差的计算模拟

Calculation and simulation on mid-spatial frequency error in continuous polishing

谢磊 ^*张云帆游云峰马平刘义彬鄢定尧

作者单位

成都精密光学工程研究中心, 成都 610041

图 & 表

谢磊, 张云帆, 游云峰, 马平, 刘义彬, 鄢定尧. 环形抛光中频误差的计算模拟[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25(12): 3307. Xie Lei, Zhang Yunfan, You Yunfeng, Ma Ping, Liu Yibin, Yan Dingyao. Calculation and simulation on mid-spatial frequency error in continuous polishing[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25(12): 3307.