光子学报, 2015, 44 (4): 0405001, 网络出版: 2015-04-28
用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作
Fabrication Process of a Novel Digital Encoding Grating Ruler for Optical Displacement Sensors
光学位移传感器 编码光栅 复制技术 紫外光刻 全息光刻 光传操纵系统 Opticaldisplacement sensor Encoding grating Replication technique UV lithography Holographic lithography Aircraft control systems
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