光学学报, 2010, 30 (1): 287, 网络出版: 2010-02-01
倾斜沉积“雕塑”薄膜结构参数优化分析
Determination of Structural Parameters for Obliquely Deposited Sculptured Thin Film
基本信息
| DOI: | 10.3788/aos20103001.0287 |
| 中图分类号: | O484 |
| 栏目: | 薄膜 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(60778026)和上海科技启明星基金(07QB14006)资助课题。 |
| 收稿日期: | 2009-02-24 |
| 修改稿日期: | 2009-03-24 |
| 网络出版日期: | 2010-02-01 |
| 通讯作者: | 齐红基 (qhj@siom.ac.cn) |
| 备注: | -- |
齐红基, 王晴云, 肖秀娣, 易葵, 贺洪波, 范正修. 倾斜沉积“雕塑”薄膜结构参数优化分析[J]. 光学学报, 2010, 30(1): 287. Qi Hongji, Wang Qingyun, Xiao Xiudi, Yi Kui, He Hongbo, Fan Zhengxiu. Determination of Structural Parameters for Obliquely Deposited Sculptured Thin Film[J]. Acta Optica Sinica, 2010, 30(1): 287.
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