光学学报, 2018, 38 (6): 0612002, 网络出版: 2018-07-09 复制并引用该论文  本文已被引 1 次  被引通知

图 & 表

图 1. 物理模型示意图

Fig. 1. Schematic of physical model

下载图片 查看原文

图 2. 不同厚度样品的折射率及误差值

Fig. 2. Refractive indices and errors of specimens with different thicknesses

下载图片 查看原文

图 3. 不同背面粗糙度样品的表面结构图。(a) S1; (b) S2; (c) S3

Fig. 3. Surface structural diagrams of specimens with different back side roughnesses. (a) S1; (b) S2; (c) S3

下载图片 查看原文

图 4. 不同背面粗糙度样品的折射率及误差值

Fig. 4. Refractive indices and errors of specimens with different back side roughnesses

下载图片 查看原文

图 5. 样品表面粗糙度随抛光时长的变化曲线

Fig. 5. Surface roughness of specimens versus polishing time

下载图片 查看原文

图 6. 不同表面光洁度样品的折射率及误差值

Fig. 6. Refractive indices and errors of specimens with different surface smoothnesses

下载图片 查看原文

表 1As2Se3棱镜玻璃样品的折射率数据

Table1. Refractive indices of As2Se3 prism glass specimens

Wavelength /μm 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 Refractive index 2.8219 2.8039 2.7964 2.7926 2.7898 2.7873 2.7850 2.7823 2.7795 2.7766 2.7737

查看原文

表 2不同背面粗糙度样品参数

Table2. Parameters of specimens with different back side roughnesses

Sample No. RZ /μm Thickness /mm Diameter /mm S1 2.49 2 50 S2 0.95 2 50 S3 0.66 2 50

查看原文

李阳, 刘永兴, 戴世勋, 徐铁峰, 林常规, 陈飞飞. 红外光谱椭偏仪测量硫系玻璃As₂Se₃折射率的准确性[J]. 光学学报, 2018, 38(6): 0612002. Yang Li, Yongxing Liu, Shixun Dai, Tiefeng Xu, Changgui Lin, Feifei Chen. Accuracy in Refractive Index Measurement of As₂Se₃ Chalcogenide Glass by IR Spectroscopic Ellipsometer[J]. Acta Optica Sinica, 2018, 38(6): 0612002.