光学 精密工程, 2012, 20 (1): 31, 网络出版: 2012-02-14
光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件
Fabrication of binary diffractive optical element by fiber laser induced backside dry etching
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20122001.0031 |
| 中图分类号: | TN305.7;O436.1 |
| 栏目: | 现代应用光学 |
| 项目基金: | 北京市教委重点项目(No.KZ20091005006) |
| 收稿日期: | 2011-06-20 |
| 修改稿日期: | 2011-11-18 |
| 网络出版日期: | 2012-02-14 |
| 通讯作者: | 陈继民 (jimin@bjut.edu.cn) |
| 备注: | -- |
陈继民, 何超, 周伟平, 申雪飞. 光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件[J]. 光学 精密工程, 2012, 20(1): 31. CHEN Ji-min, HE Chao, ZHOU Wei-ping, SHEN Xue-fei. Fabrication of binary diffractive optical element by fiber laser induced backside dry etching[J]. Optics and Precision Engineering, 2012, 20(1): 31.
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