光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件

陈继民; 何超; 周伟平; 申雪飞

doi:doi:10.3788/ope.20122001.0031

光学精密工程, 2012, 20 (1): 31, 网络出版: 2012-02-14

光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件

Fabrication of binary diffractive optical element by fiber laser induced backside dry etching

陈继民 ^*何超周伟平申雪飞

作者单位

北京工业大学激光工程研究院, 北京 100124

补充材料

陈继民, 何超, 周伟平, 申雪飞. 光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件[J]. 光学精密工程, 2012, 20(1): 31. CHEN Ji-min, HE Chao, ZHOU Wei-ping, SHEN Xue-fei. Fabrication of binary diffractive optical element by fiber laser induced backside dry etching[J]. Optics and Precision Engineering, 2012, 20(1): 31.