光学 精密工程, 2012, 20 (1): 31, 网络出版: 2012-02-14
光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件
Fabrication of binary diffractive optical element by fiber laser induced backside dry etching
激光刻蚀 微纳加工 二元衍射光学元件 能量密度阈值 laser etching micro/nano fabrication binary Diffractive Optical Element (DOE) energy threshold fluence
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