王皓 1,2,3,**张瑞康 1,2,3,*陆丹 1,2,3王宝军 1,2,3[ ... ]赵玲娟 1,2,3
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室, 北京 100083
2 低维半导体材料与器件北京市重点实验室, 北京 100083
3 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
提出一种基于AlGaInAs材料的1.55-μm波段的大功率、高速直调分布反馈(DFB)激光器阵列。采用具有良好温度特性和高微分增益的AlGaInAs材料作为量子阱和波导层以实现大功率与高带宽的输出;引入稀释波导结构来减小有源区内部损耗,同时降低远场发散角;采用悬浮光栅并优化耦合系数以实现大注入电流下的单模稳定工作。最终实现了1.5-μm波段5波长的大功率直调激光器阵列,阵列波长间隔约为5 nm,室温连续波(CW)工作时各通道输出光功率均大于100 mW,单通道最大输出光功率为160 mW,500 mA工作电流范围内边模抑制比大于55 dB,小信号调制带宽可达7 GHz,激光器最小线宽为520 kHz,相对强度噪声低于-145 dB/Hz。
激光器 1.55-μm 直调激光器; 大功率 高带宽 激光器阵列 
光学学报
2019, 39(9): 0914001
作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室, 北京 100083
采用选区外延生长应变InGaAsP/InGaAsP多量子阱有源层,制备出带宽为25 Gb/s的单片集成电吸收调制分布反馈激光器。激光器区和调制器区的荧光光谱波长分别为1535 nm和1497 nm,偏调约为38 nm。利用全息技术在激光器区制备光栅,集成器件激射在1549 nm波长处,器件的阈值电流为18 mA,在100 mA直流电流下出光功率大于10 mW。器件工作在单模状态,边模抑制比大于40 dB,与单模光纤耦合后测得的静态消光比为23 dB,器件的3 dB响应带宽为16 GHz。调制器偏压为-1.7 V,峰峰值电压为3.5 V,在25 Gb/s非归零伪随机二进制码(215-1)调制下测得器件的背靠背眼图清晰张开,动态消光比大于5.7 dB。器件具有低成本、高带宽的特点,是下一代光纤通信网络的理想光源。
激光器 分布反馈激光器 电吸收调制器 选择区域生长 
光学学报
2015, 35(s1): s114001
作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室, 北京 100083
采用飞秒激光扫描P型单晶硅衬底上的碲单质膜层,实现了碲元素在硅中的N型掺杂,随后利用准分子激光对掺杂样品进行退火处理,制备了碲掺杂硅单晶材料。利用该材料研制出了在室温下具有高响应的碲掺杂硅探测器。在-4 V的反向偏压下,光电响应在1000 nm处达到0.86 A/W,外量子效率大于106.6%;随着反向偏压的增加,光电响应增加,同时截止波长向红外方向拓展,在-8 V偏压下,截止波长达到了1235 nm;在-16 V偏压下,测得响应在1080 nm处最高达到3.27 A/W。
探测器 飞秒激光 准分子激光 碲掺杂 硅探测器 
中国激光
2013, 40(3): 0302001
马丽 1,2,3朱洪亮 1,2,*陈明华 3张灿 1,2[ ... ]边静 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所
2 半导体材料科学重点实验室,北京 100083
3 清华大学 电子工程系,北京 100084
在密集波分复用系统中,多波长DFB激光器阵列与多模干涉耦合器集成光源器件具有重要的应用前景.为了研制多波长集成光源中的宽带可用低损耗光耦合器,利用三维有限差分光束传播法仿真设计了一种具有强限制作用的InP/InGaAsP材料的多模干涉型耦合器.输入/输出端波导均采用楔形结构以降低多模干涉型耦合器的插入损耗,提高各个输出端口的出光平衡度.根据仿真结果,结合波导芯层为采用外延生长设备,采用反应离子刻蚀工艺制作了1×乘4多模干涉型耦合器.利用自动对准波导耦合测试系统对所制作器件的插入损耗和出光平衡度进行测量.测试结果表明,该器件在1 550 nm波长附近的40 nm带宽范围内获得了约2.6 dB的通带平坦度,在1 550 nm通信波长处,器件的插入损耗低于10 dB.
多模干涉耦合器 强限制波导 束传播方法 Multimode interference coupler Strongly guided waveguide Beam propagation method 
光子学报
2012, 41(3): 299
作者单位
摘要
北京工业大学激光工程研究院,北京 100022
简要介绍了(Ta2O5)1-x(TiO2)x基陶瓷(x分别为0.3,0.4和0.5)的激光烧结技术。提出激光烧结和氧气退火相结合可以实现(Ta2O5)1-x(TiO2)x基负温度系数材料的热补偿,使其介电温度系数接近零。采用X射线衍射仪(XRD)与扫描电子显微镜(SEM)分析了炉烧样品、激光烧样品及其退火样品的介电性能。实现热补偿与氧缺位的变化有关,从而导致其温度系数的变化。
激光技术 陶瓷 负温度系数 激光烧结 退火 
中国激光
2009, 36(9): 2413

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