1 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
2 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093
3 教育部光学仪器与系统工程中心, 上海 200093
在石英基底上制备了铝(Al)薄膜,同时加热烘烤制备了Al纳米颗粒,研究了不同厚度的Al纳米颗粒的吸收特性。结果表明,随着烘烤温度的上升,Al薄膜的粗糙度越来越大;当温度达到300 ℃时,Al薄膜完全转化成Al纳米颗粒。在300 ℃的烘烤温度下,当膜厚从5 nm增加到25 nm时,薄膜的共振吸收峰红移40 nm。这种制备Al纳米颗粒的工艺简单、省时、成本低、效率高。
薄膜 铝纳米颗粒 烘烤温度 表面等离子体共振
1 中国科学院上海光学精密机械研究所， 上海 201800
2 中国科学院研究生院， 北京 100049
利用电子束热蒸发技术在不同氧分压和烘烤温度下镀制了一系列TiO2单层膜，采用表面热透镜技术测量了样品在1064 nm处的弱吸收值，并用激光损伤测试平台测量了样品的抗激光损伤阈值(LIDT)特性。实验结果表明较高的氧分压和较低的烘烤温度能显著减小薄膜的吸收值。不过薄膜在基频下的损伤阈值除了受到薄膜吸收值的影响外，还取决于基底表面的杂质密度，当薄膜吸收较大时，本征吸收对损伤破坏起到主要作用；随着薄膜的吸收逐渐减小，基底表面处的缺陷吸收逐渐取代本征吸收成为影响薄膜损伤阈值的主导因素。
薄膜 吸收测量 光热效应 氧化钛 抗激光损伤阈值 烘烤温度 氧分压
