1 上海大学 材料科学与工程学院, 上海 200433
2 江苏大学 材料科学与工程学院, 江苏 镇江 212013
利用COMOSL多物理场有限元软件, 对无孔、圆形孔、正方形孔、菱形孔四种新型折叠梁形桥面结构Fabry-Perot(F-P)腔可调谐滤波器进行了电压-位移、应力和镜面平整度仿真, 以优选最佳的桥面结构。结果显示, 在相同驱动电压下, 菱形孔桥面的位移最大。同时, 桥面达到相同位移时, 菱形孔桥面所需的驱动电压最小, 并且菱形孔桥面的应力和平整度也能满足滤波器的设计要求。利用Essential Macleod软件对优选出的菱形孔桥面结构滤波器进行了滤波性能分析, 结果表明, 滤波器在3~5μm的光谱调谐范围内, 具有良好的滤波效果, 可以满足低电压驱动和宽调谐范围的要求。
F-P腔 可调谐滤波器 静电驱动 桥面形状 仿真 F-P cavity tunable filter electrostatic drive bridge shape simulation
1 上海大学理学院, 上海 200000
2 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室, 上海 200000
为实现调谐范围宽、调谐速度快、带宽窄、驱动电压低以及可批量化生产的可调光学滤波器, 提出了一种新型微机电系统(MEMS)可调光学滤波器。由高反射率可动光学镜面与准直扩束光纤端面组成法布里-珀罗(F-P)腔。通过静电驱动改变F-P腔的腔长以调整滤波器的输出光波长, 分析了可调光学滤波器的波长调谐原理和静电驱动原理, 给出了器件的结构参数和综合设计考虑。利用体硅加工工艺成功制作了可调光学滤波器样品, 并进行了实验测试。实验结果表明, 通过改变准直扩束光纤的初始位置, 3 dB带宽与自由谱域之间具有可调性。该可调光学滤波器兼备了MEMS技术与光纤技术的优点, 并且结构紧凑、工艺简单、驱动电压低, 可用于光通信等场合。
光纤光学 微机电系统 法布里-珀罗腔 可调光滤波器 静电驱动
吉林大学集成光电子学国家重点实验室,吉林大学实验区,长春,130023
给出基于硅的微机械光开关的设计分析.优化设计了光开关结构,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法.并根据不同结构,给出了静电驱动等方面的分析结果.
光开关 静电驱动 扭臂 optical switch electrostatic drive torsion beam
