随着高能激光系统的发展，对光学薄膜抵抗激光损伤能力的要求越来越高，而激光脉宽是脉冲激光对薄膜损伤行为的重要影响因素。针对Ta₂O₅/SiO₂多层膜，基于1-on-1测试方法，分析其在飞秒、皮秒、纳秒激光作用下的损伤特性。测得800 nm飞秒激光作用下的损伤阈值为1.67 J/cm²； 532 nm和1 064 nm皮秒激光作用下的损伤阈值分别为1.08 J/cm²和1.98 J/cm²； 532 nm和1 064 nm纳秒激光作用下的损伤阈值分别为9.39 J/cm²和21.57 J/cm²，并使用金相显微镜观察了滤光膜的损伤形貌。实验结果表明：飞秒激光对滤光膜的损伤机理主要是多光子电离效应，而皮秒和纳秒激光对滤光膜的损伤机制主要是热效应。滤光膜在飞秒激光作用下的损伤阈值与皮秒激光作用下的损伤阈值相当，纳秒激光作用下的损伤阈值要高一个数量级，透射通带外损伤阈值约为通带内损伤阈值的2倍。

利用Sentaurus-TCAD建立了CMOS与非门电路的二维电热模型，仿真研究了在电磁脉冲注入下，CMOS与非门电路产生的扰乱和损伤效应及其机理。结果表明，在EMP注入下，电路输出电压、内部的峰值温度呈周期性的“下降-上升”，当注入功率较大时，EMP撤销后输出电压停留在异常值，PMOS源极电流增加，温度不断上升，最终烧毁在PMOS源极，这是因为器件内部产生了闩锁效应。随着脉宽的增加, 损伤功率阈值减小而损伤能量阈值增大，通过数据拟合得到脉宽与损伤功率阈值和损伤能量阈值的关系。该结果可对EMP损伤效应进行评估并对器件级EMP抗毁伤加固设计具有指导作用。