浸没式光刻投影物镜光学薄膜 | 中国光学 -- 中国光学期刊网

中国光学, 2018, 11 (5): 745, 网络出版: 2018-11-25

浸没式光刻投影物镜光学薄膜

Optical calcoatings for projection objective immersion lithography

毕丹丹 ^1,2,*张立超 ^1,3时光 ^1,3

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心, 吉林长春 130039

² 中国科学院大学, 北京 100049

³ 长春国科精密光学技术有限公司, 吉林长春 130039

引用该论文

毕丹丹, 张立超, 时光. 浸没式光刻投影物镜光学薄膜[J]. 中国光学, 2018, 11(5): 745.

BI Dan-dan, ZHANG Li-chao, SHI Guang. Optical calcoatings for projection objective immersion lithography[J]. Chinese Optics, 2018, 11(5): 745.

引用列表

1、浸没式光刻机浸液系统污染控制研究现状及进展激光与光电子学进展, 2022, 59 (9): 0922014

2、门控循环网络辨识准分子激光器能量模型中国激光, 2021, 48 (9): 0901004

3、 NA1.35投影光刻光学系统偏振像差的优化应用光学, 2019, 40 (4): 575

毕丹丹, 张立超, 时光. 浸没式光刻投影物镜光学薄膜[J]. 中国光学, 2018, 11(5): 745. BI Dan-dan, ZHANG Li-chao, SHI Guang. Optical calcoatings for projection objective immersion lithography[J]. Chinese Optics, 2018, 11(5): 745.

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