浸没式光刻投影物镜光学薄膜

毕丹丹; 张立超; 时光

doi:doi:10.3788/co.20181105.0745

中国光学, 2018, 11 (5): 745, 网络出版: 2018-11-25

浸没式光刻投影物镜光学薄膜

Optical calcoatings for projection objective immersion lithography

毕丹丹 ^1,2,*张立超 ^1,3时光 ^1,3

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心, 吉林长春 130039

² 中国科学院大学, 北京 100049

³ 长春国科精密光学技术有限公司, 吉林长春 130039

补充材料

毕丹丹, 张立超, 时光. 浸没式光刻投影物镜光学薄膜[J]. 中国光学, 2018, 11(5): 745. BI Dan-dan, ZHANG Li-chao, SHI Guang. Optical calcoatings for projection objective immersion lithography[J]. Chinese Optics, 2018, 11(5): 745.

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