中国光学, 2018, 11 (5): 745, 网络出版: 2018-11-25
浸没式光刻投影物镜光学薄膜
Optical calcoatings for projection objective immersion lithography
浸没式光刻 光学薄膜 膜系设计 环境适应性 激光辐照寿命 immersion lithography optical coatings coating system design environmental adaptability lifetime under laser irradiation
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