中国光学, 2018, 11 (5): 745, 网络出版: 2018-11-25
浸没式光刻投影物镜光学薄膜
Optical calcoatings for projection objective immersion lithography
基本信息
DOI: | 10.3788/co.20181105.0745 |
中图分类号: | O484 |
栏目: | 光学功能材料 |
项目基金: | 国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205) |
收稿日期: | 2017-10-20 |
修改稿日期: | 2017-12-15 |
网络出版日期: | 2018-11-25 |
通讯作者: | 毕丹丹 (bidandan15@mails.ucas.ac.cn) |
备注: | -- |
毕丹丹, 张立超, 时光. 浸没式光刻投影物镜光学薄膜[J]. 中国光学, 2018, 11(5): 745. BI Dan-dan, ZHANG Li-chao, SHI Guang. Optical calcoatings for projection objective immersion lithography[J]. Chinese Optics, 2018, 11(5): 745.