1 大连理工大学 物理与光电工程学院,辽宁 大连116024
2 长春理工大学 理学院,吉林 长春130022
采用原子层沉积设备在p型单晶制绒硅上制备了不同厚度的AlOx薄膜。通过研究AlOx薄膜厚度对样品的反射率、少数载流子寿命以及电容-电压特性的影响，发现沉积32 nm的AlOx薄膜样品具有最好的钝化效果。另外，通过计算Si/AlOx界面处的固定电荷密度和缺陷态密度，发现32 nm 厚的AlOx薄膜样品具有最低的缺陷态密度。系统研究了单晶硅材料的表面钝化机制，给出了影响样品载流子寿命的根本来源。
氧化铝 原子层沉积 钝化 准稳态光电导 AlOx atomic layer deposition(ALD) passivation quasi steady state photo conductance(QSSPC)
1 中国科学院 激发态物理重点实验室, 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033
2 长春理工大学 材料科学与工程学院, 吉林 长春130011
3 中国科学院 研究生院, 北京 100039
MgZnO合金具有可覆盖日盲紫外波段的禁带宽度和晶格匹配的单晶衬底, 是理想的日盲紫外探测材料。由于MgO和ZnO分属立方相和六角相, 分相问题使高质量单一相MgZnO难以获得。热处理是提高薄膜结晶质量的有效手段。利用MOCVD方法制备了单一立方相Mg0.57Zn0.43O合金薄膜, 研究了薄膜的退火行为对薄膜结构和光学性能的影响。研究发现, 450 ℃的原生样品经过550,650,750,850 ℃氧气氛退火后, 薄膜的结晶特性和表面形貌得到明显的改善。随着退火温度的增加, 薄膜吸收截止边逐渐蓝移, 带隙展宽。X光电子能谱分析发现, 随着退火温度增加, Zn含量逐渐减小, 这种现象被归结为组分蒸汽压的差异。在退火温度达到950 ℃时, 样品发生了分相, 出现了低Mg含量的六角相MgZnO。
MgZnO合金 热退火 表面形貌 晶粒尺寸 MgZnO alloy thermal annealing surface morphology grain size
