1 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都 611731
2 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 611731
局域表面等离子体共振是一种改善光电探测器性能的有效方法。本文为了提高beta-氧化镓(β-Ga2O3)薄膜金属-半导体-金属(MSM)日盲紫外探测器的性能，提出了在beta-氧化镓薄膜表面利用快速热退火的方法形成分散的铝纳米粒子(Al-NPs)，增强薄膜对光的吸收。运用此方法制备的Al-NPs/β-Ga2O3探测器不仅降低了暗电流，同时也提升了光响应度和探测率。在波长254 nm 紫外光照、10 V 偏压下，该器件的光响应度达到了2.7 A/W，探测率达到了1.35′1014 cm×Hz1/2×W-1，与β-Ga2O3探测器相比，分别提升了1.5倍和2倍。
局域表面等离子体共振 铝纳米粒子 beta-氧化镓 日盲紫外探测器 localized surface plasmon resonance (LSPR) Al nanoparticles b-Ga2O3 solar-blind ultraviolet photodetectors
1 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
2 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093
3 教育部光学仪器与系统工程中心, 上海 200093
在石英基底上制备了铝(Al)薄膜,同时加热烘烤制备了Al纳米颗粒,研究了不同厚度的Al纳米颗粒的吸收特性。结果表明,随着烘烤温度的上升,Al薄膜的粗糙度越来越大;当温度达到300 ℃时,Al薄膜完全转化成Al纳米颗粒。在300 ℃的烘烤温度下,当膜厚从5 nm增加到25 nm时,薄膜的共振吸收峰红移40 nm。这种制备Al纳米颗粒的工艺简单、省时、成本低、效率高。
薄膜 铝纳米颗粒 烘烤温度 表面等离子体共振
