作者单位
摘要
电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 成都 610054
设计了一种Buck-Boost负压关断电平产生电路。通过引入动态调整关断时间的计时模块、分段电流限模块和纹波高速检测模块,实现了在耗尽型GaN器件快速开关时稳定栅极负压的供给,有效消除了耗尽型GaN器件在高压应用时密勒误开启现象的发生。电路基于035 μm BCD工艺进行设计与仿真验证。结果表明,该电路在宽输入范围内稳定输出-14 V的负压,在20~130 mA恒定负载电流下工作效率达80~87%,在05~1 MHz的工作频率下GaN器件栅极开关切换期间输出电压依然稳定。该电路满足高压应用需求。
耗尽型GaN Buck-Boost变换器 恒定导通时间 高速比较器 depletion-mode GaN buck-boost converter constant on time high speed comparator 
微电子学
2021, 51(4): 487
张帆 1,2王荣新 3黄思溢 1田爱琴 1[ ... ]杨辉 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 纳米器件与相关材料研究部, 江苏 苏州 215123
2 上海科技大学 物质科学与技术学院, 上海 201210
3 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 纳米真空互联实验平台, 江苏 苏州 215123
近几年,Ⅲ-Ⅴ族半导体GaN由于其宽直接带隙,在高温、高功率器件方面得到了广泛研究。但是,目前GaN器件的性能依然受到了p型欧姆接触性能不良的限制,在长期使用过程或高温环境中激光器等器件性能退化严重。因此,获得性能优异的p-GaN接触仍然是一个巨大的挑战。虽然Pd基的金属体系已然在p-GaN获得了欧姆接触,但是Pd与GaN接触之后的微观结构及其高温特性尚不为人知。本文针对常用于p型GaN接触的第一层金属Pd材料,讨论了Pd/p-GaN接触界面的特性和退化机制。通过四探针测试仪、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)实验测试和分析对比,发现Pd/p-GaN界面受到氧气和温度影响的退化过程。高温退火在界面处促成Ga-Pd合金相生成利于形成良好的接触,但是在有氧参与的情况下,金属的氧化反应超越其他因素成为主导,致使界面和性能发生明显的退化。温度越高退化越严重,甚至表面形貌状态完全改变,由平滑的原子台阶形貌转化呈现出树枝状晶粒状态。因此,保持Pd与p-GaN界面清洁、控制界面的氧成分不仅是形成合金态获得良好接触的关键,而且也关系着器件的长期稳定和可靠,是防止器件性能衰减和退化要害所在。
p型GaN 欧姆接触 界面 p-GaN Ohmic contact XPS XPS interface 
发光学报
2021, 42(7): 1065
作者单位
摘要
北京工业大学 光电子技术省部共建教育部重点实验室, 北京 100124
采用金属有机化合物气相外延方法制备了不同SiH4流量下重掺杂n型GaN材料, 研究发现在SiH4流量为20cm3/min时样品获得较高的电子浓度, 达到6.4×1019cm-3, 同时材料的结晶质量较好。光荧光测试发现重掺杂使GaN材料的杂质能带进入导带形成带尾态, 使带边峰变得不尖锐, 并且发现SiH4流量以及材料的刃位错密度与黄光带发光有关。采用Delta掺杂方式生长的重掺杂样品, 样品表面粗糙度降低, 晶体质量明显改善, 但黄光带发光强度增强。缺陷选择性腐蚀研究发现Delta掺杂方式主要通过降低螺位错密度来改善晶体的质量。
重掺杂n型GaN 光电特性 缺陷选择性腐蚀 MOCVD MOCVD heavy dopded n-type GaN optical and electrical properties defect-selective etching 
半导体光电
2016, 37(4): 499
作者单位
摘要
北京工业大学 电子信息与控制工程学院 光电子技术省部共建教育部重点实验室,北京 100124
利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上制备了GaN∶Mg薄膜。首先,对Delta掺杂p型GaN的掺杂源流量进行优化研究,研究发现在较低46cm3/min的CP2Mg源流量下,晶体质量和导电性能都有所改善,获得了较高空穴浓度,为8.73×1017cm-3,(002)和(102)面FWHM分别为245和316arcsec。随后,采用XRD、Hall测试、PL以及AFM研究了在生长过程中加入生长停顿对Delta掺杂p型GaN材料特性的影响,发现加入生长停顿后,样品电学特性、光学特性和晶体质量并未得到改善,反而下降。
薄膜 p型GaN Delta 掺杂 低源流量 金属有机物化学气相沉积 thin films p-GaN Delta doped low source flux MOCVD 
半导体光电
2016, 37(2): 229
作者单位
摘要
重庆光电技术研究所, 重庆 400060
对p-GaN/Ni/Au欧姆接触特性与Ni金属层厚度之间的相关性进行了对比实验研究, 利用XRD衍射结果与表面金相显微分析手段对Ni/Au双层金属电极在合金退火过程中的行为特性进行了细致探讨。分析结果表明: 在Ni/Au电极结构中, 由双层互扩散机制与NiO氧化反应机理决定, Ni层与Au层之间的厚度比率对p型GaN欧姆接触特性的优劣有重要影响, 在Ni、Au层厚度相当时可获得最佳的p型欧姆接触。
p型GaN 欧姆接触 Ni/Au电极 Ni层厚度 p-GaN Ohm-contact Ni/Au electrode Ni-layer thickness 
半导体光电
2014, 35(5): 850
作者单位
摘要
1 华南理工大学 发光材料与器件国家重点实验室, 广州 510640
2 江门市奥伦德光电有限公司, 江门 529000
InGaN绿光LED的量子阱结构具有较高的In含量, InN与GaN之间较大的晶格失配度使得该结构的稳定性下降。由于量子阱结构生长完成之后的p型GaN的生长温度要远高于量子阱结构生长温度, 因此, p型GaN的生长过程对多量子阱质量有重大影响。论文探讨了p型GaN的生长温度与厚度对绿光LED的材料结构及器件性能的影响。研究发现, p-GaN过高的生长温度和过大的厚度都能加剧多量子阱结构中In组分的波动, 使得发光峰宽化, 同时降低绿光量子阱的发光效率。论文据此提出了优化的p型GaN生长温度与厚度, 探讨了量子阱保护层对InGaN绿光LED性能的影响, 该结构有利于增强绿光LED发光波长的稳定性。
绿光LED p型GaN 外延生长 X射线衍射 InGaN InGaN green LED p-GaN epitaxial growth X-ray diffraction 
半导体光电
2013, 34(1): 20

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