作者单位
摘要
中国科学院光电技术研究所,成都 610209
折反式深紫外光刻物镜采用反射镜为主动自由曲面,补偿系统热像差。一些物镜系统要求反射镜的通光孔径为矩形。出于描述反射镜主动变形的目的,需要采用矩形区域正交的多项式拟合变形数据。高精度的拟合要求需要获得高阶的多项式表达式。本文根据正交多项式的性质,推导了矩形正交多项式的通式并列出前36 项多项式的表达式。应用该多项式对主动自由曲面的变形数据进行拟合。结果表明,变形均方根值(RMS)在2 nm~5 nm 范围内,最小拟合残差可达0.024 nm。根据拟合残差面形的特点,可以对主动自由曲面的结构设计改进。
Zernike 多项式 矩形孔径 正交多项式 折反射式光刻物镜 Zernike polynomial rectangle pupil orthogonal polynomial catadipotric lithography objective 
光电工程
2016, 43(12): 104
作者单位
摘要
1 中国科学院光电技术研究所,成都 610209
2 中国科学院研究生院,北京 100049
泽尼克圆多项式在圆形光瞳的正交性和能够代表经典像差而被广泛应用到波前分析中,用泽尼克圆多项式作为矩形光瞳基底函数,通过推导得到在矩形光瞳上正交的多项式。这个在矩形光瞳上正交的多项式不仅是唯一的,而且也能够表示经典像差,就像泽尼克圆多项式在表示圆形光瞳时具有这样的特性一样。矩形光瞳上正交多项式像泽尼克圆多项式一样即可以用极坐标表示也可以用直角坐标表示。使用正交多项式前 15项在 MATLAB中用最小二乘法拟合窗口干涉数据,从拟合残差的 RMS统计分析的结果来看,能很好描述高质量熔石英材料在窗口方向上的折射率均匀性分布。
折射率均匀性 矩形光瞳 正交多项式 数据拟合 index homogeneity rectangle pupil orthogonal polynomial data fitting 
光电工程
2011, 38(11): 146

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