发光学报, 2016, 37 (2): 192, 网络出版: 2016-03-22
原子层沉积AlOx薄膜对单晶硅太阳能电池钝化机制的影响
Passivation Mechanism of AlOx Thin Film Fabricated on c-Si by Atomic Layer Deposition
氧化铝 原子层沉积 钝化 准稳态光电导 AlOx atomic layer deposition(ALD) passivation quasi steady state photo conductance(QSSPC)
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