1 中国科学院大学 微电子学院, 北京 100029
2 中芯国际集成电路制造有限公司, 天津 300385
提出一种改善n型横向双扩散金属氧化物半导体(NLDMOS)器件性能的工艺方法。该方法基于某公司0.18μm标准工艺流程, 通过在NLDMOS的共源处增加一道离子注入, 引出衬底电荷, 以优化NLDMOS器件的击穿电压(Vb)与比导通电阻(Rsp)。选择不同的注入离子浓度与快速热退火时间, 研究了器件的Vb与Rsp变化。由于离子激活效率不足, 单纯增加20%的注入离子浓度, 器件的耐压性能提升极小, 采用增加20%注入离子浓度结合延长20s快速热退火时间的方法, NLDMOS器件的Vb提高约2.7%, 同时Rsp仅增加0.9%左右。
击穿电压 比导通电阻 离子注入 快速热退火 NLDMOS NLDMOS breakdown voltage Rsp ion implant RTA
北京大学, 空间信息集成与3S工程应用北京市重点实验室, 北京 100871
偏振探测能够获取新的反应目标属性的信息。 相对于传统遥感观测, 多角度偏振信息具有更稳定的相关性和规律性。 植被是地表最典型的地物之一, 利用光与植被相互作用后表现出的偏振特性可以进行植被相关性质研究。 RSP(research scanning polarimeter)是美国研制的星载偏振遥感探测器APS(aerosol polarimetery sensor)的原型样机, 提供有九个光谱偏振通道, 通过对航空飞行试验获取的扫描偏振数据预处理得到的稳定的多角度、 多波段偏振探测信息分析, 可以得到植被的光学特性和微物理特性。 以植被密集区、 植被稀疏区(接近裸地)为研究对象, 根据仪器飞行时姿态信息进行配准, 对比分析了可见光波段和近红外波段在-30°和65°观测天顶角下的强度反射特性和偏振反射特性。 结果表明, 植被密集区和植被稀疏区在不同的观测角度均表现出规律的偏振度特性, 偏振反射在接近热点区域能量小, 相比于常规强度反射在接近热点区域反射能量大, 可有效防止因反射能量过强影响探测器的稳定性, 根据在可见光波段植被密集区偏振度高于植被稀疏区, 在近红外波段植被密集区偏振度低于植被稀疏区的反射特性, 说明探测器在研究区域的植被密集区接收的可见光波段信号以单次散射为主而在近红外波段以多次散射为主。
偏振探测 植被遥感 单次散射 多次散射 Polarization detection Degree of polarization RSP Vegetation Single scattering Multiple scattering