作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室, 北京 100083
采用选区外延生长应变InGaAsP/InGaAsP多量子阱有源层,制备出带宽为25 Gb/s的单片集成电吸收调制分布反馈激光器。激光器区和调制器区的荧光光谱波长分别为1535 nm和1497 nm,偏调约为38 nm。利用全息技术在激光器区制备光栅,集成器件激射在1549 nm波长处,器件的阈值电流为18 mA,在100 mA直流电流下出光功率大于10 mW。器件工作在单模状态,边模抑制比大于40 dB,与单模光纤耦合后测得的静态消光比为23 dB,器件的3 dB响应带宽为16 GHz。调制器偏压为-1.7 V,峰峰值电压为3.5 V,在25 Gb/s非归零伪随机二进制码(215-1)调制下测得器件的背靠背眼图清晰张开,动态消光比大于5.7 dB。器件具有低成本、高带宽的特点,是下一代光纤通信网络的理想光源。
激光器 分布反馈激光器 电吸收调制器 选择区域生长 
光学学报
2015, 35(s1): s114001
作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所半导体材料重点实验室, 北京 100083
采用选择区域外延生长技术和对接再生长技术,设计并制作了10信道分布反馈激光器阵列与多模干涉耦合器的单片集成器件。器件中采用了新的技术,集成了钛薄膜热电阻用于波长调谐。集成器件烧结到热沉上后,在25 ℃温控条件下测试,激光器阵列的平均信道间隔为1.29 nm,阈值电流为22~30 mA;当激光器注入电流为200 mA,各信道的平均出光功率为0.5 mW。集成热电阻的调谐效率约为5 nm/W,通过施加合适的热电流调谐,该集成器件可以覆盖34路信道间隔为50 GHz的波长范围。集成器件可单波长选择输出,也可10信道同时运作合波输出。
集成光学 分布反馈激光器阵列 选择区域外延生长 多模干涉耦合器 光通信 
中国激光
2013, 40(12): 1202001
作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心, 北京 100083
利用扫描电子显微镜(SEM)研究了在选择外延MOVPE生长InGaAsP材料中, 厚度增强因子随SiOz掩模 宽度的变化, 生长条件(如生长压力、ID族源流量等)对厚度增强因子的影响。随着生长压力的增加, 生长速率下 降,选择性增强;随着In源流量的增加,生长速率上升,选择性下降。制备了最大厚度增强因子达3.4的InGaAsP体材料。通过扫描电镜观察,得到了较平坦的生长界面和表面形貌。为用选择生长法制备分布反馈激光器与模斑转换器集成器件提供有效的方法。
选择外延 厚度增强因子 
中国激光
2002, 29(s1): 456
作者单位
摘要
国家光电子工艺中心 中国科学院半导体研究所 北京 100083
报道了采用选区外延生长技术制作的可实用的单脊条形电吸收调制DFB激光器。激光器的阈值为26mA,最大光功率可达9mW,消光比可达16dB。减小端面的光反馈后,从自发发射谱上观察不到波长随调制电压的变化,调制器部分的电容为1.5pF,初步筛选结果显示阈值、隔离电阻、消光比基本没有变化,可应用在2.5Gb/s的长途干线光纤传输系统上。
选区外延 DFB激光器 电吸收调制器 脊型波导 单片集成 
中国激光
2001, 28(4): 321
作者单位
摘要
National Research Center for Optoelectronic Technology, Institute of Semiconductors, The Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China
selective area growth MOCVD tunablelaser DBR laser 
Chinese Journal of Lasers B
2000, 9(5): 395

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